안녕하세요 한국과학기술원 기계공학과 생산 및 계측 연구실 김태영입니다.

저희가 세미트로닉스에서 구매한 R&D 퍼니스를 사용하고 있는데 ramping으로 온도 상승 후 동일 온도에서 어닐링 중 첨부 이미지처럼 Heater I/L ON, Heater CB OFF가 되면서 퍼니스 하단의 히터 스위치가 ON과 OFF 중간으로 되며 온도가 떨어집니다.

관련하여 어떤 조치를 취해야 해당 에러가 뜨지 않는지 확인 부탁드립니다.

에러는 사진으로 첨부드렸습니다.

감사합니다.

김태영 드림