기술문의

안녕하세요 한국과학기술원 기계공학과 생산 및 계측 연구실 김태영입니다.

저희가 세미트로닉스에서 구매한 R&D 퍼니스를 사용하고 있는데 ramping으로 온도 상승 후 동일 온도에서 어닐링 중 첨부 이미지처럼 Heater I/L ON, Heater CB OFF가 되면서 퍼니스 하단의 히터 스위치가 ON과 OFF 중간으로 되며 온도가 떨어집니다.

관련하여 어떤 조치를 취해야 해당 에러가 뜨지 않는지 확인 부탁드립니다.

에러는 사진으로 첨부드렸습니다.

감사합니다.

김태영 드림

첨부파일 세미트로닉스_퍼니스_에러.jpg