Equipment & Solutions · System

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Diffusion Furnace & LP-CVD

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300mm Vertical Furnace
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200mm Vertical Furnace
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150 mm / 200 mm Horizontal Furnace
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System

R&D Furnace

2
R&D Furnace (Auto loader)
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R&D Furnace
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System

Spin Rinse Dryer & TRACK

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300mm SRD
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200mm SRD (High Profile Carrier)
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200mm SRD (Low Profile Carrier)
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150mm SRD (Single Stack)
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150mm SRD (Dual Stack)
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M-TRACK
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Software

2
STOS 2026
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FTOS 2026
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System

Solution

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Temperature Control Solution
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Mini8-based PC temperature control system diagram

Temperature Control Solution

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퍼니스의 온도제어를 Eurotherm Mini8 멀티루프 컨트롤러와 STOS PC 소프트웨어로 새로 구성하는 솔루션입니다. 구형 온도제어기를 조작판 없는 Mini8로 교체하고, 존별 설정·프로파일·알람·기록을

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